テクニカルサポート
SEMI国際半導体装置材料協会テストレポート

 

  CitriSurfは、半導体デバイスや部品の表面から、Al、Ca、Cr、Co、Cu、Fe、Pb、Mg、Ni、K、Ag、Na、Znなどの残留金属粒子を迅速かつ効率的に除去します。独自の配合設計により、CitriSurfはデバイス表面の金属イオンと接触すると自動的にキレート化し、槽底に沈着させます。その後、デバイス表面に安定した緻密な不動態膜を迅速に形成し、基板からの金属粒子の析出や剥離を防ぎ、製品性能の安定性を向上させます。






表面不働態化評価(ESCA)

 

以下のデータは、硝酸(ASTM A-967、硝酸タイプ2)とCitriSurf 2050(A-967、クエン酸タイプ4)を用いた最新の方法による不動態化処理を施したAISI 316Lステンレス鋼の分析結果です。この分析では、電子化学分析分光法(ESCA)(またはXPS)とオージェ電子分光法(AES)の両方を用いて、不動態化処理後のステンレス鋼表面の化学組成を定量化しました。

 

 

 

 

すべてのサンプルは、処理中の有機イオン汚染を回避する方法で調製されました。サンプルは標準的なESCAおよびAES法を用いて分析されました。ESCAの結果を図1に示します。SEMI規格では、Cr/Fe比の最小値は1.5/1ですが、試験装置のCrOx/FeOx比の最小値は3.2/1です。

 

 

 

表面不働態化評価(AES)

 

AESデータは、以下の図2に表形式で示されています。これらのグラフからも、CitriSurf処理したサンプルは酸化層が厚く、濃縮深度が最も深く、表面クロム層の濃縮度が優れていることがわかります。

 

 

 

 

AESデータはESCAデータよりも主観的なデータですが、それでもこの試験では相対的な改善が見られます。

※より詳しい情報を英語でご希望の場合はお問い合わせください。

 

 

 

 

ASTM適合規格

 

ASTM A967 (ステンレス鋼部品の化学不動態化処理に関する標準仕様)
ASTM B600 (チタンから金属鉄を除去する)
AMS 2700 (using Method 2, 航空宇宙産業向け)
AMPP SP21485 (貨物船の貯蔵タンク用)
ASTM A380 (ステンレス鋼部品、機器、システムの洗浄、スケール除去、不働態化)
ASTM F86(金属製外科用インプラントの表面処理およびマーキングの基準)
ASTM F1089(外科器具の腐食に関する標準試験方法)
ASTM B912 (電解研磨ステンレス鋼の不動態化技術規格)


軍事規格:
MIL-S-5002
MIL-STD-171
MIL-DTL-14072
MIL-STD-753

 

 

 


技術ソリューション
その他のサービス